英國雷尼紹公司激光干涉儀(ML10 Gold)
項 目
單 位
參 數(shù)
線性測量分辨率
um
0.001
測量范圍
m
40
線性測量精度
ppm
±? 0.7
最高測量速度
m/min
60
長期穩(wěn)頻精度
ppm
± 0.05
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